规 格

对角线d

mm

精度等级

000

00

0

1

平面度公差值um

160×100

189

1.5

2.5

5

10

160×160

226

250×160

297

3

5.5

11

250×250

353

400×250

472

6

12

400×400

566

2

3.5

6.5

13

630×400

746

7

14

630×630

891

4

8

16

1000×630

1182

2.5

4.5

9

18

1000×1000

1414

5

10

20

1600×1000

1887

3

6

12

23

1600×1600

2262

3.5

6.5

13

26

2500×1600

2968

4

8

16

32

4000×2500

4717

6

11.5

23

46

 注

1        表中数值均按标准温度20°C给定。

2        计算公式：

  000级：1×（1+d/1000）0级：4×（1+d/1000）

  00级：2×（1+d/1000）1级：8×（1+d/1000）

  式中：d工作面对角线长度，mm。

3        距工作面边缘0.02a（为20mm）范围内平面度公差不计，且任意一点都不高于工作面。

精度等级

000

00

0

1

平板工作面平面波动量

2

4

8

16

规格

对角线d

集中载荷区域为∮D的圆

额定载荷

N

允许挠度值

um

mm

160×100

189

—

—

—

160×160

226

250×160

297

250×250

353

∮120

375

1.5

400×250

472

400×400

566

500

2

630×400

746

630×630

891

∮190

1000×630

1182

1000×1000

1414

625

2.5

1600×1000

1887

∮300

750

3

1600×1600

2262

2500×1600

2968

1000

4

4000×2500

4717

1500

6